薄膜アプリケーション

薄膜アプリケーション

低吐出量噴射バルブ等を応用した薄膜塗布アプリケーション

FS 式循環型マイクロスプレーガンは、フィラー含有コーティング材やディスパージョンコーティング液をスプレー均一分散に使用出来るように開発された0.２g/min からの微少量の塗布調整が可能な微少量均一塗布スプレーガンで、少量吐出で高い微粒化性能を有した塗布ガンのため、数ナノオーダーの成膜が可能な高塗着効率のスプレーガンであります。FS 式マイクロスプレーガンの塗布パターン形状は狭いものでφ３～φ８ｍｍ程度からφ２０ｍｍｍ程度の丸吹き微細パターンであり、マイクロマシンのような複雑なサブストレートに対して有効です。形成された微粒子は直線的にサブストレートに衝突し塗布されます。微粒子のベクトルは、特殊ノズルに合流される２つの圧縮エアの調整により、垂直方向を基本にして塗布パターンを包囲する3 次元方向からとなっておりますので、アスペクト比の高いサブストレートの塗布にも適しています。

Shimada Appliが開発しました高速応答可能な２流体塗布ガンと、8/1000秒からの任意のON,OFFを繰り返し断続スプレーステッチコーティングの採用も実施することにより、フィラーリッチ材料の高効率スプレーコーティングが可能です。

This is a spray gun that circulates around the liquid that contains phosphor and is sprayed. It was called Micro Spray Gun, and this gun uniformly distributed the material and to spray it by the small diameter size, was developed.The micro spray gun can dispense small amount of material from 0.2g/min.The gun can be mounted to precision 3-axis (X,Y, and Z) robots to make excellent
thin films. Film thickness can easily be adjusted between 0.1 μm and 20 μm. A small area of 8 cm2 can be coated. Also, using gun movers, substrates such as large glasses, or substrates width up to 1m can be coated.

Coating material supplying methods can be selected based on the characteristics of the material actually used. The gun ON/OFF mechanism is engineered so that coating material does not adhere onto the tip of the gun nozzle.